淮安7月14日电 我国于硬脆质料加工范畴取患上里程碑式冲破——江苏天晶智能设备有限公司今日公布，其自立研发的12英寸蓝宝石衬底与载体晶圆已经同步实现范围化量产，年产能达10万片，良率超97%。这标记着我国初次于年夜尺寸蓝宝石质料范畴实现“衬底+设备”全链路国产化，一举打破外洋技能垄断，跻身全世界第一梯队。
双轨冲破：技能指标比肩国际顶尖程度
这次量产的12英寸蓝宝石衬底于焦点参数上实现周全冲破：直径节制精度达300±0.5妹妹，外貌粗拙度仅0.2纳米（相称在头发丝直径的1/400000），位错密度≤500 cm ，可耐受2050℃高温，彻底满意GaN外延、Micro-LED等高端器件的制造需求。经由过程独创的超高速金刚石线切割技能（线速3000米/分钟）与磁控溅射工艺，产物外延层位错密度降低80%，显著晋升LED芯片发光效率。
同步量产的12英寸载体晶圆则解决了半导体进步前辈封装的“洽商”难题。该产物撑持晶圆姑且键合与超薄芯片传输，碎片率节制于0.1%如下，今朝全世界仅两家企业具有同类量产能力，天晶是境内独一不变供给商。
自立设备支撑：从“跟跑”到“领跑”的超过
天晶智能经由过程构建自立设备链实现量产冲破：其自立研发的TJ320型超高速多线切割机，将切割效率晋升300%，良率不变于98%以上，完全挣脱对于入口装备的依靠。依托淮安出产基地，产物单元成本较入口同类低30%，首批定单已经经由过程欧盟CE认证并交付东南亚半导体代工场，规划2026年实现全世界市场份额30%的方针。
“咱们用十年时间走完了国际巨头二十年的技能旅程。”天晶智能总司理张耀暗示，公司已经从切割装备商转型为质料解决方案提供商，将来将结合长三角财产链伙伴制订中国年夜尺寸蓝宝石技能尺度。
赋能三年夜战略范畴：从半导体到量子科技
该结果将深度赋能高端制造财产链：于半导体范畴，12英寸GaN功率器件可以使新能源汽车电驱体系能效晋升15%；于AR/VR范畴，高折射率衬底（n=2.7）能将光波导视场角扩展40%，鞭策AR眼镜光机体积缩小一半；于量子科技范畴，超低缺陷衬底为量子芯片与高能激光窗口提供极度情况下的光学不变性。
据相识，天晶已经启动12英寸图形化蓝宝石衬底（PSS）研发，对准千亿级Micro-LED市场，18英寸兼容切割装备也进入工程验证阶段。中国科学院半导体研究所专家评价：“这项冲破不仅弥补海内空缺，更使我国于第三代半导体质料竞争中把握了战略自动权。”
-PT电子